體視(shi)顯(xian)微鏡是一種具(ju)(ju)有正像立(li)體(ti)感地顯微鏡，其(qi)的(de)倍率變(bian)化是由(you)改變(bian)中(zhong)間(jian)鏡組之間(jian)的(de)距離而獲(huo)得(de)的(de)，被廣(guang)泛(fan)地應用于(yu)材料宏觀(guan)表面觀(guan)察、失效分(fen)析、斷口(kou)分(fen)析等工(gong)(gong)業領(ling)域，是一種具(ju)(ju)有正像立(li)體(ti)感地目視儀器，被廣(guang)泛(fan)地應用于(yu)生(sheng)物(wu)學、醫學、農林、工(gong)(gong)業及海(hai)洋生(sheng)物(wu)各(ge)部門(men)。

體視(shi)顯微鏡的(de)系統由(you)金(jin)(jin)(jin)相(xiang)顯徽鏡和(he)宏觀攝像(xiang)臺組成的(de)光學成像(xiang)系統，其(qi)用途是使金(jin)(jin)(jin)相(xiang)試樣或照片形成圖(tu)(tu)像(xiang)。它可直接對金(jin)(jin)(jin)相(xiang)試樣進(jin)行定量金(jin)(jin)(jin)相(xiang)分析，宏觀攝像(xiang)臺適用于分析金(jin)(jin)(jin)相(xiang)照片、底片及實物等。為了能用計算機(ji)存(cun)貯、處理(li)和(he)分析圖(tu)(tu)像(xiang)，首先需將圖(tu)(tu)像(xiang)數字化，一幀圖(tu)(tu)像(xiang)是由(you)不同(tong)灰(hui)度的(de)一種(zhong)分布所組成，用數學符號(hao)表示為j=j(x,y)，x、y為圖(tu)(tu)像(xiang)上像(xiang)素點的(de)坐(zuo)標，j則(ze)表示其(qi)灰(hui)度值。

下面咱們來了解下體視顯微(wei)鏡的控制(zhi)技術，希望(wang)能夠(gou)幫助到您：

①MIMO控(kong)制：控(kong)制器需(xu)要(yao)同時控(kong)制水平(ping)掃(sao)(sao)描和垂直(zhi)定(ding)位。水平(ping)平(ping)面x軸的高(gao)速運動(dong)會(hui)引(yin)(yin)起(qi)軸向振動(dong)，水平(ping)高(gao)速掃(sao)(sao)描也會(hui)引(yin)(yin)起(qi)探(tan)頭(tou)與樣品之間的垂直(zhi)振動(dong)。耦合引(yin)(yin)起(qi)的定(ding)位誤差(cha)嚴重影響成像質量，甚至損壞探(tan)針和掃(sao)(sao)描樣品。

②豎直方向控制(zhi)：垂(chui)直方向由(you)壓電致(zhi)動器(qi)控制(zhi)，以(yi)控制(zhi)探針和(he)樣(yang)(yang)品(pin)(pin)表面(mian)(mian)之間的(de)距(ju)離，使得探針和(he)樣(yang)(yang)品(pin)(pin)表面(mian)(mian)之間的(de)物(wu)理相互(hu)作用(yong)是較穩定(ding)的(de)(或者探針和(he)樣(yang)(yang)品(pin)(pin)表面(mian)(mian)之間的(de)距(ju)離以(yi)固定(ding)值穩定(ding))。垂(chui)直定(ding)向精度直接(jie)影響操作的(de)成像精度，定(ding)位速度影響其(qi)成像速度。

③水平(ping)方(fang)向(xiang)控(kong)(kong)制：水平(ping)方(fang)向(xiang)控(kong)(kong)制使(shi)得探頭能(neng)夠通過控(kong)(kong)制壓(ya)電致(zhi)動器(qi)在樣品(pin)表面上(shang)完(wan)成重復(fu)的光(guang)柵(zha)掃描，即，在X軸(zhou)上(shang)重復(fu)地和快速地跟(gen)蹤三角波軌(gui)跡，并且(qie)在Y軸(zhou)上(shang)相(xiang)對緩慢地跟(gen)蹤斜率軌(gui)跡。水平(ping)方(fang)向(xiang)控(kong)(kong)制使(shi)探頭能(neng)夠在樣品(pin)表面快速準(zhun)確地跟(gen)蹤掃描軌(gui)跡，從而實現高速掃描精度和掃描速度。