顯微鏡資訊：傳統的聚焦離子束顯微鏡具有以下功能和應用

聚焦離(li)子束(FIB)

傳(chuan)統(tong)文化聚焦式離(li)子束顯微(wei)鏡具有以(yi)下主要功能：

（1）定點切割；

（2）選擇(ze)性材(cai)料蒸發；

(3)強化蝕刻(ke)或選擇性(xing)蝕刻(ke);

(4)蝕刻終點檢測等。體視顯微鏡一臺儀器。指從不同角度觀察物體,使雙眼引起立體感覺的雙目顯微鏡。熒光顯微鏡以紫外線為光源， 用以照射被檢物體， 使之發出熒光， 然后在顯微鏡下觀察物體的形狀及其所在位置。熒光顯微鏡用于研究細胞內物質的吸收、運輸、化學物質的分布及定位等。生物顯微鏡用來觀察生物切片、生物細胞、細菌以及活體組織培養、流質沉淀等的觀察和研究，同時可以觀察其他透明或者半透明物體以及粉末、細小顆粒等物體。左圖所示為生產的倒置生物顯微鏡型，該(gai)生物(wu)顯微(wei)鏡(jing)也是食品廠、飲用水廠辦(ban)QS、HACCP認證(zheng)的必備(bei)檢驗設(she)備(bei)。目前(qian)，聚焦離子束(shu)顯微(wei)鏡(jing)廣泛應(ying)用于半導體(ti)電(dian)(dian)子工(gong)業和(he)集成電(dian)(dian)路工(gong)業

主要的(de)應用研究(jiu)可分為包(bao)括以下五大(da)類(lei)：

（1）IC線路維修(xiu)和(he)放置驗(yan)證

(2)透射電子顯微鏡樣本(ben)生(sheng)產;

(3)部件故障的(de)觀察(cha)和(he)分(fen)析；

（4）生產(chan)線製程異常數據(ju)分析及；

(5)IC工藝監控-例如光刻膠切割(ge)等。

聚(ju)焦(jiao)離子(zi)(zi)(zi)束(shu)(FIB)是**種利用(yong)離子(zi)(zi)(zi)束(shu)作為(wei)入射(she)源來分析或處理(li)材(cai)料的方法。聚(ju)焦(jiao)離子(zi)(zi)(zi)束(shu)顯微鏡系(xi)統(tong)是利用(yong)電(dian)子(zi)(zi)(zi)透鏡將離子(zi)(zi)(zi)束(shu)聚(ju)焦(jiao)到一個非常小的微切(qie)割儀器中(zhong)。目(mu)前(qian)，工業(ye)系(xi)統(tong)中(zhong)的粒子(zi)(zi)(zi)束(shu)主要(yao)是液態(tai)金屬離子(zi)(zi)(zi)源(LMIS) ，金屬鎵(GA)因(yin)其熔點(dian)(dian)低(di)、蒸(zheng)氣壓低(di)、抗氧化性能(neng)好等優點(dian)(dian)而(er)被(bei)廣泛使(shi)用(yong)。

典型的離子束顯微鏡包括液態金屬離子源、電透鏡、掃描電極、二次粒子探測器、5-7軸移動樣品底座、真空系統、抗振和磁場裝置、電子控制面板、計算機和其他硬件設備。對液態金屬離子源施加電場(抑制器)可以使液態鎵形成細小的**，負電場(提取器)拉動**鎵。鎵離子束通過電透鏡聚焦，離子束的大小可以通過一系列可變孔徑(AVA)來確定，然后離子束兩次聚焦在試件表面，通過物理碰撞達到切割的目的。